ITO靶材(使用后)

表1:

 

使用該ITO靶材鍍膜后,ITO導電膜的性能參數

項目

規格

導電性能

約180μΩ·cm(滿足產品生產要求)

透光率

>87%(滿足產品生產要求)

耐熱實驗

合格

泡堿實驗

合格

耐堿實驗

合格

蝕刻性能

合格

 
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